純水是指純凈水一般以城市自來水為水源，通過多層過濾，可將微生物等有害物質去除，但同時也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質。

   純水處理設備原理：源水→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→一級反滲透膜→二級反滲透膜→TOC脫出器→EDI系統低壓開關保護高壓泵不會因供水停止而損壞。高效率、低噪音的高壓泵，降低運行噪音，減少耗電。脫鹽率高，運行壓力低的卷式復合膜提高了產水水質及降低運行成本，且使用壽命長。產水、濃水各設有流量計以監視并調節運行出水量及系統回收率。產水電導率表連續監視產水水質。高純水設備參數：污染物去除率脫鹽率：99.8% 有機物去除率：>150MW 細菌隔除率：>99% 熱原去除率：>99% 顆粒去除率：>99% 進水要求：污染指數(SDI)：<5 余氯：<0.1mg/L PH：5-8 水溫：4°-40℃ 高純水設備。

   臭氧滅菌超純水處理：臭氧（O3）的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結構不穩定，很快自行分解成氧氣（O2）和單個氧原子（O）；后者具有很強的活性，對細菌有極強的氧化作用，將其殺死，多余的氧原子則會自行重新結合成為普通氧原子（O2），不存在任何有毒殘留物，故稱無污染消毒劑，它不但對各種細菌（包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等）有極強的殺滅能力，而且對殺死霉素也很有效。臭氧的滅菌機制及過程類屬于生物化學過程，氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝生產和繁殖過程到破壞。滲透胞膜組織，侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透畸變，導致細胞溶解死亡。并且將死亡菌體內遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原（細菌病毒代謝產物、內毒素）等溶解變性滅亡。

   薄膜微孔過濾（MF）純水處理工藝：薄膜微孔過濾法包括三種形式：深層過濾、篩網過濾、表面過濾。

一、 深層過濾是以編織纖維或壓縮材料制成的基質，利用隋性吸附或是捕捉方式來留住顆粒，如常用的多介質過濾或砂濾；深層過濾是一種較為經濟的方式，可去除98%以上的懸浮固體，同時保護下游的純化單元不會被堵塞，因此通常做為預處理。

二、表面過濾則是多層結構，當溶液通過濾膜時，較濾膜內部孔隙大的顆粒將被留下來，并主要堆積在濾膜表面上，如常用的PP纖維過濾。表面過濾可去除99.9%以上的懸浮固體，所以也可作為預處理或澄清用。

三、 篩網濾膜基本上是具有一致性的結構，就象篩子一般，將大于孔徑的顆粒，都留在表面上（這種濾膜的孔量度是非常精準的），如超純水機終端使用的用點保安過濾器；篩網過濾微孔過濾一般被置于純化系統中的最終使用點，以去除最后的殘留微量樹脂片、碳屑、膠體和微生物。

   活性炭吸附純水處理工藝： 活性炭依靠吸附和過濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機物雜質。